本系列化学气相沉积炉分为四个系统,炉体系统,真空系统,气路系统,控制系统。本系列化学气相沉积炉的控制系统为独立的控制柜,控温仪表采用日本岛电公司生产的FP93温控仪表,控温精度高,控温效果好,读数直观、操作方便。
本系列预氧炭化炉外形为长方体,非为上下两部分,上部分为加热炉体,由预氧炉和炭化炉组成;左部为预氧炉外壳用304拉丝板卷成两个半圆,上下焊接不锈钢端盖。
本系列加热开启炉外壳用冷板折弯成长方形或圆形,内部为为炉体,炉体分为耐火层和保温层,耐火层采用高温氧化炉纤维真空浇注成型,炉丝均匀的镶嵌在炉膛表面,提高了炉温均匀性。
本系列CVD沉碳化硅炉(以下简称CVD炉)分为气路系统,炉体加热系统,真空处理系统三部分。CVD炉还带有超温报警功能,当温度超过设定报警值时,蜂鸣器开始报警,并切断加热电源,以杜绝事故的发生,安全有效。
高温真空沉积炉
本系列电阻炉炉体外型为圆柱形,炉壳用冷板卷焊外表喷塑而成,炉体固定在装有升降系统的支架上,炉膛为真空浇注成型,保温效果好。
本系列电阻炉外形为长方体,有上下两部分组成,上部分为加热炉体。
本系列电阻炉外形为圆柱体,分上下两部分,上部分为加热炉体,炉体外壳用冷板卷焊成型,内部炉膛分为两层,内层为耐火层用1800℃高晶纤维浇注成型,外层为莫来石保温层,保温性能好。
本系列电阻炉炉体由真空室和加热炉体组成,真空室用碳钢板卷焊而成,室壁为双层内部可以通循环水来对真空室降温。
本系列电阻炉由水除氧处理子系统、氧化试验子系统、水回收子系统三个系统组成
本系列电阻炉外形为长方体,分为上下两部分,上部分为炉体,用不锈钢拉丝板折弯氩弧焊成长方体。
本系列电阻炉由水除氧处理子系统、氧化试验子系统、水回收子系统三个系统组成,方管焊接成框架喷塑将三个系统装置固定在框架上,水除氧处理子系统和氧化试验子系统内的材料全部采用不锈钢材料加工而成桶状并且焊接密封,连接管道和阀门也采用不锈钢材料。
该炉为卧式结构,炉膛支撑在箱体上,控制系统(温度和气体)均在箱体上,加热炉管由耐热钢制成,加热炉体由真空浇铸纤维炉膛制成,形成1200mm的均匀区
本系列电阻炉由两个加热区组成。上部为高温区,使用温度为1400℃,最高1500℃。加热原件为硅钼棒加热体。下区使用温度为300℃,最高温度为370℃,加热元件为电阻丝。
电阻炉外形为长方体,用角钢和钢板焊接成型,内部炉膛为圆形,材料为真空浇注成型,炉丝均匀的镶嵌在炉膛表面提高了炉膛的均匀性